- 28 Ocak 2007
- 6,759
- 48
ing. X-ray Photoelectron Spectroscopy
Bir yüzey analizyöntemi olan XPS, yüzeyde bulunan atomların iç kabuklarındaki (core level) enerji seviyelerinde bulunan elektronların fotoelektrik olay sonucu uyarılması mantığına dayanır.
Bu seviyelerden uyarılaran ve fotoelektron adı verilen elektronların kinetik enerjilerinden yola çıkarak Einstein prensibince bağlanma enerjileri (binding energy) hesap edilebilir ve aşağıda görüldüğü gibi spektrumlar elde edilebilir. Bağlanma enerjisi gerek çevresel etkenlere gerekse karakteristik özelliklere bağlı olduğu için, X-ışını Fotoelektron Spektroskopisi sayesinde numunenin yüzeyi hakkında nitel ve nicel bilgiler elde edilebilir. Aşağıdaki spektrumdaki tepelerin (peak) enerjileri tespit edilerek numunenin hangi atomları içerdiği bulunabilir. Hatta, farklı değerliğe sahip atomların dahi -Si0 ve Si4+'da olduğu gibi- ayrılması mümkündür. Ayrıca, tepe alanları karşılaştırılarak nicel bilgi elde etmek de mümkündür.
Bir yüzey analizyöntemi olan XPS, yüzeyde bulunan atomların iç kabuklarındaki (core level) enerji seviyelerinde bulunan elektronların fotoelektrik olay sonucu uyarılması mantığına dayanır.
Bu seviyelerden uyarılaran ve fotoelektron adı verilen elektronların kinetik enerjilerinden yola çıkarak Einstein prensibince bağlanma enerjileri (binding energy) hesap edilebilir ve aşağıda görüldüğü gibi spektrumlar elde edilebilir. Bağlanma enerjisi gerek çevresel etkenlere gerekse karakteristik özelliklere bağlı olduğu için, X-ışını Fotoelektron Spektroskopisi sayesinde numunenin yüzeyi hakkında nitel ve nicel bilgiler elde edilebilir. Aşağıdaki spektrumdaki tepelerin (peak) enerjileri tespit edilerek numunenin hangi atomları içerdiği bulunabilir. Hatta, farklı değerliğe sahip atomların dahi -Si0 ve Si4+'da olduğu gibi- ayrılması mümkündür. Ayrıca, tepe alanları karşılaştırılarak nicel bilgi elde etmek de mümkündür.